我国电子工业部高纯水水质试行标准化学指标单位：μg/L
序号 水质项目 一级高纯水指标 二级高纯水指标
1 电阻率（25℃）MΩ·cm ≥15 ≥10
2 电导率，μs/cm 0.05 0.1
3 PH值 6.8～7.2 6.6～7.4
4 细菌总数，个/mL ＜3 ＜9
5 微粒（直径＞0.5μm，粒/mL） ＜150 ＜300
6 二氧化硅 ＜10 ＜20
7 有机物（以COD计） ＜0.3 ＜0.5
8 钠 Na ＜0.5 ＜2
9 铁 Fe ＜1 ＜2
10 铜 Cu ＜0.5 ＜1
11 钙 Ca ＜1 ＜3
12 镁 Mg ＜0.2 ＜1
13 锌 Zn ＜0.5 ＜1
14 锰 Mn ＜0.2 ＜0.5
说明：①一级高纯水适用于大规模集成电路，微波器件以及有相同要求到半导体器件产品。 ②二级高纯水适用于一般电路，分立器件以及有相同要求的半导体器件产品。 ③本表按1980年电子工业部标准摘录。
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